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info@dataphys.com.cn點擊次數：1329 更新時間：2019-03-21
小測量半徑：2µm
小測量楔角：20°
小測量粗糙度（Ra）：80nm
小測量粗糙度（Sa）：50nm
大掃描高度：25mm
大操作距離：17.5（5×物鏡）
大擴展視野範圍：2500mm2
垂直分辨率：20nm
大單一方向測量範圍：50mm
位移範圍（X/Y）:50mm×50mm(自動調節)
位移範圍（Z）:130mm(26mm自動調節)
